精密行星减速机主要为伺服电机/步进电机，较大特点为高精度、传递能力大，也可以配直流电机、单相电机、同步电机及各类三相异步电机等动力源。另外，精密行星减速机还可以接收高转速的输入，比如3000转/分的伺服电机可直接对接后输入。一般齿轮减速机，蜗轮蜗杆减速机，转速都用四级电机1400转/分左右，如果太高，减速机将承*。
精密行星减速机的工作原理：
1.齿圈固定，太阳轮主动，行星架被动。从图例1中可以看出，此种组合为降速传动，通常传动比一般为2.5～5，转向相同。2.齿圈固定，行星架主动，太阳轮被动。从演示中可以看出，此种组合为升速传动，传动比一般为0.2～0.4，转向相同。
2.太阳轮固定，齿圈主动，行星架被动。从演示中可以看出，此种组合为降速传动，传动比一般为1.25～1.67，转向相同。4.太阳轮固定，行星架主动，齿圈被动。从演示中可以看出，此种组合为升速传动，传动比一般为0.6～0.8，转向相同。
3.行星架固定，太阳轮主动，齿圈被动。从演示中可以看出此种组合为降速传动，传动比一般为1.5～4，转向相反。6.行星架固定，齿圈主动，太阳轮被动。从演示中可以看出此种组合为升速传动，传动比一般为0.25～0.67，转向相反。
4.把三元件中任意两元件结合为一体的情况：当把行星架和齿圈结合为一体作为主动件，太阳轮为被动件或者，把太阳轮和行星架结合为一体作为主动件，齿圈作为被动件的运动情况。从演示中我们可以看出，行星齿轮间没有相对运动，作为一个整体运转，传动比为1，转向相同。汽车上常用此种组合方式组成直接档。
5.三元件中任一元件为主动，其余的两元件自由：从分析中可知，其余两元件无确定的转速输出。第六种组合方式，由于升速较大，主被动件的转向相反，在汽车上通常不用这种组合。其余的七种组合方式比较常用。
